国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种涂胶显影设备”的专利，公开号CN121411079A，申请日期为2025年11月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种涂胶显影设备，包括工艺腔室；加热件，设于工艺腔室内，用于加热晶圆；升降控制模块，包括多个升降件，多个升降件均沿加热件的轴向可移动的设于工艺腔室，用于带动晶圆移动；腔盖模块，包括盖主体，盖主体可拆卸的设于工艺腔室，以封闭工艺腔室；降温单元，包括活动放于升降控制模块的降温件；降温件的比热容C≥700 J/（kg·K）；且在降温时，加热件的温度和盖主体的温度均高于降温件的初始温度；升降控制模块带动降温件靠近加热件，以对加热件进行降温；升降控制模块带动降温件靠近盖主体，以对盖主体进行降温。本发明能够提升加热器和盖体降温效率。

　　天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20162.7296万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目329次，财产线条，此外企业还拥有行政许可67个。

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